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硫化氫質(zhì)量流量計

產(chǎn)品時間:2024-12-16

簡要描述:

硫化氫質(zhì)量流量計
Aera氣體質(zhì)量流量計
FC-R7800CD 氣體質(zhì)量流量控制器
◆ 流量可覆蓋10sccm-200slm包含腐蝕性氣體(相對于N2)
◆ 快速反應(yīng)
◆ 模擬通訊控制模式,金屬密封
◆ 高可靠性和實用性

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硫化氫質(zhì)量流量計

Aera流量計 Aera 氣體質(zhì)量流量控制器

FC-R7800CD  FC-R7810CD FC-R7820CD

質(zhì)量流量控制器是在半導(dǎo)體生產(chǎn)線中的成膜、蝕刻等供氣系統(tǒng)中緊密控制氣體流量的裝置。本公司的產(chǎn)品在閥門上搭載使用自己開發(fā)的Ni-Co合金的波形隔膜,對于流體接觸的所有部分采用了金屬密封的潔凈結(jié)構(gòu),結(jié)合各種用途備齊了豐富的產(chǎn)品系列。今后,我們也將為應(yīng)對不斷發(fā)展進(jìn)步的半導(dǎo)體工藝的要求,推出高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器,為半導(dǎo)體的制造技術(shù)的發(fā)展做貢獻(xiàn)。

Aera質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品源于美國,是流體控制領(lǐng)域的標(biāo)志性企業(yè)

硫化氫質(zhì)量流量計 性能:

快速的響應(yīng),響應(yīng)時間<1秒.

精度≤1%FS   線性度小于等于0.5%FS  重復(fù)性≤0.2%FS

易于整合——標(biāo)準(zhǔn)連接器和尺寸

高度的可靠性和穩(wěn)定性

特點:

耐腐蝕性,流量范圍從10sccm-200slm

VCR® 及 Swagelok®共容性連接

全金屬密封

常關(guān)或常開的電磁控制閥

泄漏率1 x 10-10 atm-cc/sec of He

      Aera創(chuàng)建于國,是一家提供流體測量和控制產(chǎn)品及全套解決方案的跨國高科技企業(yè),掌握行業(yè)*的流體測量及控制技術(shù),專注于高科技工業(yè)領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用,包括半導(dǎo)體、新能源、 新材料,平板顯示、數(shù)據(jù)存儲、工業(yè)鍍膜、食品及化工分析等。Aera 的產(chǎn)品包性能的氣體質(zhì)量流量控制儀器及測量儀器,氣體工藝整體解決方案和服務(wù)支持方案。Aera始終致力于為客戶開發(fā)優(yōu)化的解決方案及相關(guān)產(chǎn)品,客戶包括但不限于原始設(shè)備制造商(OEM)和終端用戶(END-USER)。



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